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PARKER膜片減壓閥結構分析

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產品名稱: PARKER膜片減壓閥結構分析
產品型號: PHS520D-02-110V-DL
產品展商: PARKER
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簡單介紹

PARKER膜片減壓閥結構分析 產品提供精密且穩定的壓力控製，提*了MFC(質量流量控製器)的**，這對半導體**的重複性和產量至關重要。


PARKER膜片減壓閥結構分析  的詳細介紹
PARKER膜片減壓閥結構分析
派克Veriflo產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥。
產品提供精密且穩定的壓力控製，提*了MFC(質量流量控製器)的**，這對半導體**的重複性和產量至關重要。
產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程汙染.
減壓閥適用於惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數流量需求變化提*出色響應。
產品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩定閥座密封和壓力調節。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，
這樣大限度減少粒子生成和截留，進—步提*工藝清潔度和吹掃**
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬製備，提供優異的耐腐蝕性和泄漏完整性。
閥體材料為內部電解拋光Vericlean316L不鏽鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不鏽鋼。
膜片和閥芯材料為哈氏合金C-22R。這些材料與SMSQ2Micro係列設計特點相結合，
使SMSQ2Micro係列具有強耐腐蝕性和更*循環壽命，入口壓力*達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規範.
SMSQ2Micro係列減壓閥的內部(閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，
使用質譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩定性
·有C和W密封貼麵安裝1-1/8和1-1/2
閥體尺寸·極低粒子數
·腐蝕性和特殊氣體·半導體工具
·工具掛鉤.氣體櫃
·半導體·分析試驗室·製藥
·生物製藥·航空航天·工業
·束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性. SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E0.15 Cv·出口壓力範圍:-10 psig 到60 psig
·內漏率:≤5x10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:二2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表麵處理
·工作壓力範圍:-40°F至+150° F(-40°C至+66°℃)
PARKER膜片減壓閥結構分析