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日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

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產品名稱: 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性
產品型號:
產品展商: 日本Panasonic鬆下
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簡單介紹

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性 投光元件 LED(調製式) 材質 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯 電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm 電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性


日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性  的詳細介紹

日本神視晶圓定位傳(chuan) 感器環境兼容性

產(chan) 品樣本：

實現0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。
基於2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對於使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

結構圖：

中心測量距離 45mm
檢測物體(ti) 3英寸以上的半導體(ti) 晶圓(注2)
可對應檢測麵 有受光方向反射麵的端麵形狀的檢測麵(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12〜24V DC±10%　脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下

日本神視晶圓定位傳(chuan) 感器環境兼容性